平台简介

薄膜电子性能测试平台主要拥有 “矢量网络分析仪”、“电脑控制拉力试验机”、“微细形状测定机”、“摄像金相显微镜”等设备，设备总资产达30多万元，位于昆山元丰路232号机器人产业园1号楼1楼实验室。

矢量网络分析仪技术指标：

1. 频率范围：100kHz〜3GHz

2. 频率分辨率：1Hz

3. 频率准确度：±5X10-6

4. 功率范围：~45dBm〜+10dBm

5. 功率分辨率：0. 0ldB

6. 功率准确度：±1.5dB (功率：0dBm,相对于50MHz参考频率）

7. 谐波：≤-18dBc (端口功率+5dBm)

8. 非谐波杂散：≤-30dBc (端口功率+5dBm)

100kHz~10MHz          10MHz〜3GHz

9.   幅度迹线噪声:        ≤0. 015dB              ≤0.0010dB

10. 相位迹线噪声:       ≤0. 120°                 ≤0.010°

11. 传输跟踪(校准后)：  ±0. 030dB                ±0. 020dB

12. 反射跟踪(校准后)：  ±0. 030dB                ±0. 020dB

13. 有效方向性(校准后)：  49dB                    46dB

14. 有效源匹配           44dB                    40dB

(校准后)：      43dB (选件 001)         21dB (选件 001)

15. 有效负载匹配         49dB                    46dB

（校准后）：     48dB (选件 001)          41dB (选件 001)

100kHz—lMHz    1MHz〜10MHz   10MHz〜3GHz

16. 动态箱围      90dB             110dB          125dB

（中频 带宽10Hz）：

17. 动态箱围      60dB              80dB           95dB

（中频 带宽3Hz）：

微细形状测定机技术指标：

一、测定工件：

1. 最大工件尺寸：φ160mm

2. 最大工件厚度：50mm

3. 最大工件重量：2kg

二、检出器（pick up）：

1. Z方向测定范围：Max. 600μm

2. Z方向分解能：0.1nm

3. 测定力：min.1mgf,max.50mg

4. 触针半径：2 μm

5. 驱动方式：直动式

6. 再现性：1σ= 1nm

三、X 轴 (基准轴)：

1. 移动量(最大测长)：100mm

2. 移动的真直度：0.2μm/100mm

3. 移动,测定速度：0.02 ~ 10mm/s

4. 线性尺(linar scale)：分解能0.1μm

四、Z轴：

1. 移动量：50mm

2. 移动速度：max.2mm/S

3. 检出器自动停止机能

4. 位置决定分解能：0.2μm

五、工件台：

1. 工件台尺寸：φ160mm

2. 机械手动倾斜： ± 1mm/150mm

六、工件观察：max.110 倍(可选购其它高倍率CCD)

七、床台：材质为花岗岩石

八、防振台(选购)：落地型或桌上型

九、电源：AC100V±10%,50/60HZ, 300VA

十、本体外观尺寸及重量：W494×D458×H610mm, 120kg(不含防震台)

薄膜电子性能测试平台主要用于薄膜的结构性能测试和电学性能测试，为各种薄膜制备领域提供技术支撑服务。对中心磁控溅射工艺的研究工作提供必要的支持。该平台目前研发的产品包括，高真空多靶磁控溅射科研仪器，该仪器主要适用于PZT、PTC、NTC、ZnO等敏感陶瓷，铁氧体陶瓷，微波陶瓷，石英晶振，QCM生物传感器，贴片电感，塑料薄膜或机壳（电磁屏蔽）等材料或器件的磁控溅射绿色金属化工艺技术及连续式生产线或单体镀膜机等。

在薄膜电子性能测试平台的支持下，已孵化1家企业，申请专利22项，其中授权12项，承接省市级项目6项。培养了人才10人，其中江苏六大高峰人才1人，姑苏双创人才1人，昆山领军创业人才1人，昆山十大杰出青年1人。

薄膜电子性能测试平台已服务企业包括昆山万丰电子科技有限公司、深圳康磁电子科技有限公司、苏州兆鹏电子科技有限公司等公司。